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硅片中金属含量的测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110330104.9
申请日：
2021-03-29
公开(公告)号：
CN112713103B
公开(公告)日：
2021-04-27
发明(设计)人：
谭继东
郭恺辰
程远梅
申请人：
申请人地址：
710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
G01N332028
G01N2762
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
许静;张博
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-27 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20210329 |
| 2021-06-25 | 授权 | 授权 |