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有时分多重蚀刻工艺中的终点检测
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200480002236.3
申请日：
2004-02-04
公开(公告)号：
CN1739185A
公开(公告)日：
2006-02-22
发明(设计)人：
罗素·韦斯特曼
大卫·J·约翰逊
申请人：
申请人地址：
美国佛罗里达州
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：
樊卫民;关兆辉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-11-03 | 授权 | 授权 |
| 2006-02-22 | 公开 | 公开 |
| 2006-04-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |