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一种适用于真空环境的加热旋转工件台以及真空设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202020513285.X
申请日
:
2020-04-09
公开(公告)号
:
CN212163758U
公开(公告)日
:
2020-12-15
发明(设计)人
:
张诚
申请人
:
申请人地址
:
065200 河北省廊坊市三河市燕郊高新区全景工业园三期33E
IPC主分类号
:
H05B636
IPC分类号
:
代理机构
:
北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11653
代理人
:
李非非
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-12-15
授权
授权
共 50 条
[1]
真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备
[P].
刘伟基
论文数:
0
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0
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
刘伟基
;
刘运鸿
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
刘运鸿
;
冀鸣
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
冀鸣
.
中国专利
:CN119536375B
,2025-04-18
[2]
真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备
[P].
刘伟基
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
刘伟基
;
刘运鸿
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
刘运鸿
;
冀鸣
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
冀鸣
.
中国专利
:CN119536375A
,2025-02-28
[3]
旋转工件盘及真空设备
[P].
刘伟基
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
刘伟基
;
吴秋生
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
吴秋生
;
冀鸣
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
冀鸣
;
易洪波
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
易洪波
.
中国专利
:CN221398018U
,2024-07-23
[4]
一种真空设备工件台旋转装置
[P].
孟庆学
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机构:
法德(浙江)机械科技有限公司
法德(浙江)机械科技有限公司
孟庆学
;
纪贺贺
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机构:
法德(浙江)机械科技有限公司
法德(浙江)机械科技有限公司
纪贺贺
;
赵鹏飞
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机构:
法德(浙江)机械科技有限公司
法德(浙江)机械科技有限公司
赵鹏飞
;
彭炜奇
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机构:
法德(浙江)机械科技有限公司
法德(浙江)机械科技有限公司
彭炜奇
.
中国专利
:CN222661677U
,2025-03-25
[5]
旋转工件盘及其控制方法、真空设备
[P].
刘伟基
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
刘伟基
;
冀鸣
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
冀鸣
;
吴秋生
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佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
吴秋生
;
易洪波
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
易洪波
;
赵刚
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
赵刚
.
中国专利
:CN117512552A
,2024-02-06
[6]
旋转工件盘及其控制方法、真空设备
[P].
刘伟基
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
刘伟基
;
冀鸣
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
冀鸣
;
吴秋生
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
吴秋生
;
易洪波
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
易洪波
;
赵刚
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机构:
佛山市博顿光电科技有限公司
佛山市博顿光电科技有限公司
赵刚
.
中国专利
:CN117512552B
,2025-11-25
[7]
一种适用于真空设备的加热机构
[P].
周广福
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周广福
;
韩广龙
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韩广龙
;
高洪涛
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高洪涛
.
中国专利
:CN216752139U
,2022-06-14
[8]
一种真空设备用多工位多功能旋转工件台
[P].
田杰成
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机构:
湖南艾科威半导体装备有限公司
湖南艾科威半导体装备有限公司
田杰成
;
徐有根
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机构:
湖南艾科威半导体装备有限公司
湖南艾科威半导体装备有限公司
徐有根
;
李啸雲
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机构:
湖南艾科威半导体装备有限公司
湖南艾科威半导体装备有限公司
李啸雲
;
尹昊
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0
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机构:
湖南艾科威半导体装备有限公司
湖南艾科威半导体装备有限公司
尹昊
.
中国专利
:CN118979234A
,2024-11-19
[9]
用于真空设备的热电偶组件以及真空设备
[P].
倪峻
论文数:
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机构:
理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司
理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司
倪峻
.
中国专利
:CN222618050U
,2025-03-14
[10]
一种适用于真空环境的真空泵
[P].
柯建汝
论文数:
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机构:
浙江创为真空设备股份有限公司
浙江创为真空设备股份有限公司
柯建汝
.
中国专利
:CN223469420U
,2025-10-24
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