真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510106651.7

申请日：

2025-01-23

公开(公告)号：

CN119536375A

公开(公告)日：

2025-02-28

发明(设计)人：

刘伟基刘运鸿冀鸣

申请人：

佛山市博顿光电科技有限公司中山市博顿光电科技有限公司

申请人地址：

528225 广东省佛山市南海区狮山镇华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1

IPC主分类号：

G05D3/12

IPC分类号：

H01J37/20 C23C14/54 C23C14/50

代理机构：

广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614

代理人：

余永文

法律状态：

授权

国省代码：

广东省佛山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-18	授权	授权
2025-02-28	公开	公开
2025-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G05D 3/12申请日:20250123

共 50 条

[1]

真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备 [P].

刘伟基 ;

刘运鸿 ;

冀鸣 .

中国专利 :CN119536375B ,2025-04-18

[2]

旋转工件盘及真空设备 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

易洪波 .

中国专利 :CN221398018U ,2024-07-23

[3]

旋转工件盘及其控制方法、真空设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN117512552A ,2024-02-06

[4]

旋转工件盘及其控制方法、真空设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN117512552B ,2025-11-25

[5]

工件架及真空设备 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN117758225A ,2024-03-26

[6]

真空设备、真空设备部件和用于运行真空设备的方法 [P].

R·库南兹 ;

S·奥尔霍恩 .

德国专利 :CN118308703A ,2024-07-09

[7]

真空设备盖板、真空设备本体和真空设备 [P].

蔡广云 ;

李允求 ;

冯卫东 ;

江顺 ;

陈禹 ;

顾为飞 ;

许盼 .

中国专利 :CN114396475B ,2022-10-04

[8]

真空设备 [P].

陈祥麟 .

中国专利 :CN204186263U ,2015-03-04

[9]

真空设备的动密封装置及真空设备 [P].

腾安芝 ;

金龙钊 .

中国专利 :CN112081922A ,2020-12-15

[10]

真空设备的动密封装置及真空设备 [P].

张保全 ;

李爽 ;

赖丽娟 ;

尹显椿 ;

朱岳刚 ;

邱雄胜 ;

刘知新 ;

牛雷闪 .

中国专利 :CN209026167U ,2019-06-25

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