旋转工件盘及其控制方法、真空设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311652945.7

申请日：

2023-12-04

公开(公告)号：

CN117512552A

公开(公告)日：

2024-02-06

发明(设计)人：

刘伟基冀鸣吴秋生易洪波赵刚

申请人：

佛山市博顿光电科技有限公司中山市博顿光电科技有限公司

申请人地址：

528225 广东省佛山市南海区狮山镇华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1(住所申报)

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614

代理人：

余永文

法律状态：

授权

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-25	授权	授权
2024-02-06	公开	公开
2024-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20231204

共 50 条

[1]

旋转工件盘及其控制方法、真空设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN117512552B ,2025-11-25

[2]

旋转工件盘及真空设备 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

易洪波 .

中国专利 :CN221398018U ,2024-07-23

[3]

真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备 [P].

刘伟基 ;

刘运鸿 ;

冀鸣 .

中国专利 :CN119536375B ,2025-04-18

[4]

真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备 [P].

刘伟基 ;

刘运鸿 ;

冀鸣 .

中国专利 :CN119536375A ,2025-02-28

[5]

工件架及真空设备 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN117758225A ,2024-03-26

[6]

一种适用于真空环境的加热旋转工件台以及真空设备 [P].

张诚 .

中国专利 :CN212163758U ,2020-12-15

[7]

一种真空设备用多工位多功能旋转工件台 [P].

田杰成 ;

徐有根 ;

李啸雲 ;

尹昊 .

中国专利 :CN118979234A ,2024-11-19

[8]

一种真空设备工件台旋转装置 [P].

孟庆学 ;

纪贺贺 ;

赵鹏飞 ;

彭炜奇 .

中国专利 :CN222661677U ,2025-03-25

[9]

真空设备、真空设备部件和用于运行真空设备的方法 [P].

R·库南兹 ;

S·奥尔霍恩 .

德国专利 :CN118308703A ,2024-07-09

[10]

一种半导体真空设备及其真空控制方法 [P].

苏文华 ;

齐玉 .

中国专利 :CN117352363A ,2024-01-05

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