工件架及真空设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410046480.9

申请日：

2024-01-11

公开(公告)号：

CN117758225A

公开(公告)日：

2024-03-26

发明(设计)人：

刘伟基吴秋生冀鸣易洪波赵刚

申请人：

佛山市博顿光电科技有限公司中山市博顿光电科技有限公司

申请人地址：

528225 广东省佛山市南海区狮山镇华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1(住所申报)

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C16/458

代理机构：

广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614

代理人：

余永文

法律状态：

公开

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-26	公开	公开
2024-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20240111

共 50 条

[1]

旋转工件盘及真空设备 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

易洪波 .

中国专利 :CN221398018U ,2024-07-23

[2]

真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备 [P].

刘伟基 ;

刘运鸿 ;

冀鸣 .

中国专利 :CN119536375B ,2025-04-18

[3]

真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备 [P].

刘伟基 ;

刘运鸿 ;

冀鸣 .

中国专利 :CN119536375A ,2025-02-28

[4]

旋转工件盘及其控制方法、真空设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN117512552A ,2024-02-06

[5]

旋转工件盘及其控制方法、真空设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN117512552B ,2025-11-25

[6]

真空设备 [P].

陈祥麟 .

中国专利 :CN204186263U ,2015-03-04

[7]

真空腔门及真空设备 [P].

马续航 ;

张锐 ;

王尧 ;

王春柱 .

中国专利 :CN221777985U ,2024-09-27

[8]

真空门结构及真空设备 [P].

蒋毅 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN215288955U ,2021-12-24

[9]

真空设备盖板、真空设备本体和真空设备 [P].

蔡广云 ;

李允求 ;

冯卫东 ;

江顺 ;

陈禹 ;

顾为飞 ;

许盼 .

中国专利 :CN114396475B ,2022-10-04

[10]

炉门组件及真空设备 [P].

刘强 ;

左敏 ;

吴兴华 ;

胡彬 ;

黎微明 .

中国专利 :CN214892606U ,2021-11-26

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