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一种背面曝光机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021111052.3
申请日：
2020-06-16
公开(公告)号：
CN212083890U
公开(公告)日：
2020-12-04
发明(设计)人：
兰沈凯
催豪
吴杰明
申请人：
申请人地址：
620500 四川省眉山市仁寿县文林工业园区
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
广州粤高专利商标代理有限公司 44102
代理人：
刘春风
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-04 | 授权 | 授权 |