一种用于背面曝光的静电载片

被引：0

申请号：

CN202122746352.X

申请日：

2021-11-10

公开(公告)号：

CN216210476U

公开(公告)日：

2022-04-05

发明(设计)人：

丁杰罗湘姚尧张鸿鑫蔡海管佳宁唐智慧冯宇曾琪

申请人：

申请人地址：

412001 湖南省株洲市石峰区田心高科园半导体三线办公大楼三楼309室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京风雅颂专利代理有限公司 11403

代理人：

曾志鹏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种背面曝光机 [P].

兰沈凯 ;

催豪 ;

吴杰明 .

中国专利 :CN212083890U ,2020-12-04

[2]

用于板材双面曝光的移载装置 [P].

李高飞 ;

杨帆 ;

陈曦 ;

刘劼 ;

任跃辉 ;

孟庆浩 ;

胡辉来 ;

魏亚菲 ;

曹葵康 ;

温延培 .

中国专利 :CN217200790U ,2022-08-16

[3]

一种用于载片标本处理的载片盖板 [P].

郭金灿 ;

郭恩明 .

中国专利 :CN206114380U ,2017-04-19

[4]

一种背面曝光工艺优化方法 [P].

王健 .

中国专利 :CN105717748B ,2016-06-29

[5]

一种用于LDI曝光机的载具机构 [P].

舒向云 .

中国专利 :CN208654536U ,2019-03-26

[6]

用于板材曝光的移载装置 [P].

孟庆浩 ;

杨帆 ;

陈曦 ;

刘劼 ;

任跃辉 ;

魏亚菲 ;

李高飞 ;

胡辉来 ;

曹葵康 ;

温延培 .

中国专利 :CN217213436U ,2022-08-16

[7]

一种用于电池片的LDI曝光设备 [P].

李天航 ;

王方江 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN222232867U ,2024-12-24

[8]

一种用于生产电阻片的曝光机 [P].

白华 .

中国专利 :CN211980312U ,2020-11-20

[9]

一种用于半导体器件背面保护简易曝光机 [P].

崔文荣 .

中国专利 :CN210721015U ,2020-06-09

[10]

一种用于彗星实验的载片 [P].

李远 ;

张宏宾 ;

曹飞 ;

高亮 .

中国专利 :CN217767030U ,2022-11-08

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