用于微电子互连元件的接触端头结构及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN97190558.4

申请日：

1997-05-15

公开(公告)号：

CN1194692A

公开(公告)日：

1998-09-30

发明(设计)人：

T·H·道兹尔 B·N·艾尔德里格 I·Y·汉德罗斯 G·L·马思乌 S·A·泰勒

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G01R1067

IPC分类号：

G01R1073

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

王勇;张志醒

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101089116107 IPC(主分类):G01R 1/067 专利号:ZL971905584 申请日:19970515 授权公告日:20050629 终止日期:20100515
1998-09-30	公开	公开
1998-10-14	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2005-06-29	授权	授权

共 50 条

[1]

用于微电子互连元件的接触端头结构 [P].

T·H·道兹尔 ;

B·N·艾尔德里格 ;

I·Y·汉德罗斯 ;

G·L·马思乌 ;

S·A·泰勒 .

中国专利 :CN1722532A ,2006-01-18

[2]

微电子结构元件和用于制造微电子结构元件的方法 [P].

F·迪茨 ;

W·法伊勒 .

德国专利 :CN119522038A ,2025-02-25

[3]

微电子弹性接触元件 [P].

B·N·艾尔里格 ;

I·Y·汉德罗斯 ;

G·L·马思乌 ;

D·V·佩德尔森 .

中国专利 :CN1134667C ,1998-09-30

[4]

用于微电子元件的金属互连结构 [P].

杨智超 ;

K·占达 ;

L·克莱文格 ;

王允愈 ;

D·杨 .

中国专利 :CN101268549A ,2008-09-17

[5]

用于制造微电子机械结构元件的方法 [P].

H·韦伯 ;

P·施莫尔格鲁贝尔 .

德国专利 :CN118545675A ,2024-08-27

[6]

微电子接触构件及其制造方法 [P].

I·Y·汗德罗斯 ;

B·N·埃尔德里奇 ;

G·L·马蒂厄 ;

G·W·格鲁贝 .

中国专利 :CN1197514A ,1998-10-28

[7]

微电子元件及其制造方法 [P].

李文钦 .

中国专利 :CN1738049A ,2006-02-22

[8]

微电子的结构元件装置和用于其的制造方法 [P].

F.安特 ;

M.安贝格尔 .

中国专利 :CN106920782A ,2017-07-04

[9]

制造微电子元件的方法 [P].

张发源 ;

赖宗沐 ;

梁凯智 ;

吴华书 ;

贺庆雄 ;

萧国裕 ;

张浚威 ;

刘铭棋 ;

谢元智 ;

蔡嘉雄 ;

沈育民 ;

白景中 .

中国专利 :CN100590789C ,2008-08-20

[10]

微电子结构和制造微电子结构的方法 [P].

阿尼尔·K.·钦特哈吉迪 ;

杰拉德·马图西耶维茨 ;

李保振 .

中国专利 :CN101086989A ,2007-12-12

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