微电子结构元件和用于制造微电子结构元件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411157030.3

申请日：

2024-08-22

公开(公告)号：

CN119522038A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

F·迪茨 W·法伊勒

申请人：

罗伯特·博世有限公司

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

H10N97/00

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

郭付昌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	公开	公开

共 50 条

[1]

用于制造微电子机械结构元件的方法 [P].

H·韦伯 ;

P·施莫尔格鲁贝尔 .

德国专利 :CN118545675A ,2024-08-27

[2]

微电子结构和制造微电子结构的方法 [P].

阿尼尔·K.·钦特哈吉迪 ;

杰拉德·马图西耶维茨 ;

李保振 .

中国专利 :CN101086989A ,2007-12-12

[3]

微电子的结构元件装置和用于其的制造方法 [P].

F.安特 ;

M.安贝格尔 .

中国专利 :CN106920782A ,2017-07-04

[4]

制造微电子元件的方法 [P].

张发源 ;

赖宗沐 ;

梁凯智 ;

吴华书 ;

贺庆雄 ;

萧国裕 ;

张浚威 ;

刘铭棋 ;

谢元智 ;

蔡嘉雄 ;

沈育民 ;

白景中 .

中国专利 :CN100590789C ,2008-08-20

[5]

用于微电子互连元件的接触端头结构 [P].

T·H·道兹尔 ;

B·N·艾尔德里格 ;

I·Y·汉德罗斯 ;

G·L·马思乌 ;

S·A·泰勒 .

中国专利 :CN1722532A ,2006-01-18

[6]

微电子元件及其制造方法 [P].

李文钦 .

中国专利 :CN1738049A ,2006-02-22

[7]

用于微电子互连元件的接触端头结构及其制造方法 [P].

T·H·道兹尔 ;

B·N·艾尔德里格 ;

I·Y·汉德罗斯 ;

G·L·马思乌 ;

S·A·泰勒 .

中国专利 :CN1194692A ,1998-09-30

[8]

微电子装置和微电子装置制造 [P].

K·K·柯比 ;

王钊文 .

中国专利 :CN112530879B ,2021-03-19

[9]

用于微电子元件的金属互连结构 [P].

杨智超 ;

K·占达 ;

L·克莱文格 ;

王允愈 ;

D·杨 .

中国专利 :CN101268549A ,2008-09-17

[10]

微电子结构 [P].

R·布鲁赫豪斯 ;

C·马祖雷－埃斯佩霍 ;

R·普里米格 .

中国专利 :CN1334960A ,2002-02-06

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