一种硅圆晶精加工抛光设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921018784.5

申请日：

2019-07-02

公开(公告)号：

CN210435913U

公开(公告)日：

2020-05-01

发明(设计)人：

廖海涛

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市滨湖区高运路109号

IPC主分类号：

B24B2900

IPC分类号：

B24B4106 B24B5506

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411

代理人：

黄冠华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种玻璃晶圆抛光设备 [P].

万峰 .

中国专利 :CN214054858U ,2021-08-27

[2]

一种晶圆抛光设备 [P].

张陈军 ;

陈福文 ;

张焜鸣 .

中国专利 :CN217434008U ,2022-09-16

[3]

一种晶圆抛光设备 [P].

徐慧文 ;

邵强 ;

张德 ;

潘尧波 .

中国专利 :CN216327530U ,2022-04-19

[4]

一种晶圆抛光设备 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN108890511A ,2018-11-27

[5]

晶圆抛光设备 [P].

时岱 ;

吴楠 ;

杨军 ;

包斌 .

中国专利 :CN215547738U ,2022-01-18

[6]

晶圆抛光设备 [P].

汪海亮 ;

刘路 .

中国专利 :CN221936399U ,2024-11-01

[7]

晶圆抛光设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221640511U ,2024-09-03

[8]

晶圆抛光设备 [P].

孟晓云 ;

周庆亚 ;

张晓阳 ;

贾若雨 ;

白琨 ;

李嘉浪 ;

吴燕林 .

中国专利 :CN222537291U ,2025-02-28

[9]

一种晶圆加工用切面抛光装置 [P].

顾泉 .

中国专利 :CN210588710U ,2020-05-22

[10]

一种基于晶圆的抛光头和晶圆抛光设备 [P].

周大伟 ;

金亮 ;

金孟豪 ;

张峰 ;

姜建民 ;

盛湘远 .

中国专利 :CN223084505U ,2025-07-11

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