基底板、接触环、唇缘密封件与接触环以及电镀设备和电镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910211989.X

申请日：

2009-12-10

公开(公告)号：

CN101798698A

公开(公告)日：

2010-08-11

发明(设计)人：

维奈·普拉巴卡布赖恩·L·巴卡柳古斯·加内桑珊迪纳斯·古奈加迪何志安史蒂文·T·迈尔罗伯特·拉什乔纳森·D·里德高田雄一詹姆斯·R·齐布里达

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C25D1706

IPC分类号：

C25D1700 C25D1900 C25D712

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

王允方

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-11	公开	公开
2014-01-29	授权	授权
2012-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101173117471 IPC(主分类):C25D 17/06 专利申请号:200910211989X 申请日:20091210

共 50 条

[1]

具有径向偏移接触指的电镀接触环 [P].

格雷戈里·J·威尔逊 .

中国专利 :CN108701643B ,2018-10-23

[2]

用于半导体电镀设备的唇形密封件和接触元件 [P].

冯京宾 ;

马歇尔·R·斯托厄尔 ;

弗雷德里克·D·维尔莫特 .

中国专利 :CN102953104A ,2013-03-06

[3]

用于半导体电镀设备的唇形密封件和接触元件 [P].

冯京宾 ;

罗伯特·马歇尔·斯托厄尔 ;

弗雷德里克·D·维尔莫特 .

中国专利 :CN107254702A ,2017-10-17

[4]

具有适用于凹槽的接触环密封件及窃流电极的电镀设备 [P].

格雷戈里·J·威尔逊 ;

保罗·R·麦克休 .

中国专利 :CN107208299B ,2017-09-26

[5]

具有接触环除镀功能的电镀设备 [P].

兰迪·A·哈里斯 ;

布赖恩·J·普奇 .

中国专利 :CN103695990A ,2014-04-02

[6]

一种用于电镀设备的密封环及电镀设备 [P].

金军江 ;

郑谦 .

中国专利 :CN119194567A ,2024-12-27

[7]

具有屏蔽的接触环的电镀处理器 [P].

格雷戈里·J·威尔逊 ;

保罗·R·麦克休 .

中国专利 :CN104054160B ,2014-09-17

[8]

接触件、夹盘及电镀设备 [P].

杜阳 ;

杨宏超 .

中国专利 :CN119507016B ,2025-12-05

[9]

接触件、夹盘及电镀设备 [P].

杜阳 ;

杨宏超 .

中国专利 :CN119507016A ,2025-02-25

[10]

球形环密封件和生产球形环密封件的方法 [P].

贝田英俊 ;

黑濑講平 .

中国专利 :CN103168187A ,2013-06-19

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