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改善吹风洁净度的光刻机系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011172156.X
申请日：
2020-10-28
公开(公告)号：
CN112255890A
公开(公告)日：
2021-01-22
发明(设计)人：
张俊杰
申请人：
申请人地址：
200000 上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364
代理人：
朱明福
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20201028 |
| 2021-01-22 | 公开 | 公开 |