清洗装置及清洗方法

被引：0

申请号：

CN202110188736.6

申请日：

2021-02-19

公开(公告)号：

CN114724972A

公开(公告)日：

2022-07-08

发明(设计)人：

叶永全徐嘉祥王瑞僧

申请人：

申请人地址：

中国台湾新北市泰山区南林路98号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102 B08B302 B08B1300

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司 11270

代理人：

浦彩华;姚开丽

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-08	公开	公开
2022-07-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210219

共 50 条

[1]

清洗装置及清洗方法 [P].

宋斌 ;

陈锐源 ;

张剑桥 ;

吴先燕 .

中国专利 :CN120709201A ,2025-09-26

[2]

清洗装置及方法 [P].

黄富源 ;

吴宗恩 ;

王志成 .

中国专利 :CN110473800A ,2019-11-19

[3]

清洗装置及清洗方法 [P].

白川征人 .

日本专利 :CN117730282A ,2024-03-19

[4]

清洗装置及清洗方法 [P].

田中佑季 ;

饭泉健 ;

梶川敬之 .

中国专利 :CN115605981A ,2023-01-13

[5]

清洗装置及清洗方法 [P].

王善鹤 .

中国专利 :CN114308879A ,2022-04-12

[6]

清洗装置及清洗方法 [P].

于丽 ;

薛永 ;

王东 ;

胡智英 ;

邵英关 ;

张天 .

中国专利 :CN112792076B ,2025-05-13

[7]

清洗装置及清洗方法 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN104971916B ,2015-10-14

[8]

清洗装置及清洗方法 [P].

罗君文 ;

常斌 ;

范世超 ;

尹利军 ;

孙慧 ;

唐洪杨 .

中国专利 :CN107442538A ,2017-12-08

[9]

清洗装置及清洗方法 [P].

任树朝 ;

朱远方 ;

刘丽英 .

中国专利 :CN114334726B ,2025-07-11

[10]

清洗装置及清洗方法 [P].

茂木文雄 ;

桥谷学 ;

渡边年宏 ;

池山裕介 .

日本专利 :CN117546102A ,2024-02-09

← 1 2 3 4 5 →