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一种卷料放卷装置及原子层沉积设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202020682257.0
申请日
:
2020-04-27
公开(公告)号
:
CN212355831U
公开(公告)日
:
2021-01-15
发明(设计)人
:
李哲峰
乌磊
申请人
:
申请人地址
:
518000 广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513
IPC主分类号
:
B65H1610
IPC分类号
:
B65H1606
代理机构
:
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287
代理人
:
肖文静
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-01-15
授权
授权
共 50 条
[1]
一种卷料放卷装置及原子层沉积设备
[P].
李哲峰
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0
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李哲峰
;
乌磊
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乌磊
.
中国专利
:CN212150944U
,2020-12-15
[2]
卷料装置及原子层沉积设备
[P].
李哲峰
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李哲峰
;
乌磊
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乌磊
.
中国专利
:CN212335296U
,2021-01-12
[3]
一种卷料冷却装置及原子层沉积设备
[P].
李哲峰
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李哲峰
;
乌磊
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乌磊
.
中国专利
:CN212109201U
,2020-12-08
[4]
卷料收料装置及原子层沉积设备
[P].
李哲峰
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李哲峰
;
乌磊
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乌磊
.
中国专利
:CN212151023U
,2020-12-15
[5]
一种原子层沉积装置及原子层沉积设备
[P].
李哲峰
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李哲峰
;
乌磊
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乌磊
.
中国专利
:CN212335291U
,2021-01-12
[6]
卷料固定装置及原子层沉积设备
[P].
李哲峰
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李哲峰
;
乌磊
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乌磊
;
聆领安辛
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聆领安辛
.
中国专利
:CN212610892U
,2021-02-26
[7]
卷对卷式原子层沉积设备
[P].
王东君
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王东君
.
中国专利
:CN203096169U
,2013-07-31
[8]
传料纠偏装置及原子层沉积设备
[P].
李哲峰
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李哲峰
;
乌磊
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乌磊
.
中国专利
:CN212334143U
,2021-01-12
[9]
收放料纠偏装置及原子层沉积设备
[P].
李哲峰
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李哲峰
;
乌磊
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乌磊
.
中国专利
:CN212355905U
,2021-01-15
[10]
原子层沉积设备的进气装置及原子层沉积设备
[P].
张璞
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机构:
宸微设备科技(苏州)有限公司
宸微设备科技(苏州)有限公司
张璞
;
刘亚男
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宸微设备科技(苏州)有限公司
宸微设备科技(苏州)有限公司
刘亚男
;
李靖
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机构:
宸微设备科技(苏州)有限公司
宸微设备科技(苏州)有限公司
李靖
.
中国专利
:CN223561687U
,2025-11-18
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