一种卷料放卷装置及原子层沉积设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202020682257.0
申请日
2020-04-27
公开(公告)号
CN212355831U
公开(公告)日
2021-01-15
发明(设计)人
李哲峰 乌磊
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513
IPC主分类号
B65H1610
IPC分类号
B65H1606
代理机构
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287
代理人
肖文静
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种卷料放卷装置及原子层沉积设备 [P]. 
李哲峰 ;
乌磊 .
中国专利 :CN212150944U ,2020-12-15
[2]
卷料装置及原子层沉积设备 [P]. 
李哲峰 ;
乌磊 .
中国专利 :CN212335296U ,2021-01-12
[3]
一种卷料冷却装置及原子层沉积设备 [P]. 
李哲峰 ;
乌磊 .
中国专利 :CN212109201U ,2020-12-08
[4]
卷料收料装置及原子层沉积设备 [P]. 
李哲峰 ;
乌磊 .
中国专利 :CN212151023U ,2020-12-15
[5]
一种原子层沉积装置及原子层沉积设备 [P]. 
李哲峰 ;
乌磊 .
中国专利 :CN212335291U ,2021-01-12
[6]
卷料固定装置及原子层沉积设备 [P]. 
李哲峰 ;
乌磊 ;
聆领安辛 .
中国专利 :CN212610892U ,2021-02-26
[7]
卷对卷式原子层沉积设备 [P]. 
王东君 .
中国专利 :CN203096169U ,2013-07-31
[8]
传料纠偏装置及原子层沉积设备 [P]. 
李哲峰 ;
乌磊 .
中国专利 :CN212334143U ,2021-01-12
[9]
收放料纠偏装置及原子层沉积设备 [P]. 
李哲峰 ;
乌磊 .
中国专利 :CN212355905U ,2021-01-15
[10]
原子层沉积设备的进气装置及原子层沉积设备 [P]. 
张璞 ;
刘亚男 ;
李靖 .
中国专利 :CN223561687U ,2025-11-18