薄膜半导体装置的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN200810000259.0
申请日
2008-01-30
公开(公告)号
CN100594586C
公开(公告)日
2008-08-06
发明(设计)人
国井正文
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
H01L2128
IPC分类号
H01L213105 H01L21336
代理机构
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人
余 刚;吴孟秋
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
薄膜半导体装置和制造薄膜半导体装置的方法 [P]. 
町田晓夫 ;
藤野敏夫 ;
河野正洋 .
中国专利 :CN101038938A ,2007-09-19
[2]
薄膜半导体装置、显示装置及薄膜半导体装置的制造方法 [P]. 
森田泰彰 ;
盐谷朋弘 ;
久保田绅治 ;
安部薰 .
中国专利 :CN101154669A ,2008-04-02
[3]
薄膜半导体器件及薄膜半导体器件的制造方法 [P]. 
林宏 ;
川岛孝启 ;
河内玄士朗 .
中国专利 :CN103038887A ,2013-04-10
[4]
薄膜半导体装置以及薄膜半导体装置的制造方法 [P]. 
钟之江有宣 ;
川岛孝启 .
中国专利 :CN103189970B ,2013-07-03
[5]
薄膜半导体基板、发光面板以及薄膜半导体基板的制造方法 [P]. 
钟之江有宣 ;
森田清之 .
中国专利 :CN104350533A ,2015-02-11
[6]
薄膜半导体器件及其制造方法 [P]. 
林宏 ;
川岛孝启 ;
河内玄士朗 .
中国专利 :CN103189990A ,2013-07-03
[7]
薄膜半导体装置和该薄膜半导体装置的制造方法 [P]. 
町田晓夫 ;
藤野敏夫 ;
河野正洋 .
中国专利 :CN101150057B ,2008-03-26
[8]
薄膜半导体器件的制造方法、薄膜半导体阵列基板的制造方法、结晶硅薄膜的形成方法以及结晶硅薄膜的形成装置 [P]. 
尾田智彦 ;
川岛孝启 .
中国专利 :CN103003928A ,2013-03-27
[9]
显示装置用薄膜半导体装置及其制造方法 [P]. 
林宏 ;
川岛孝启 ;
河内玄士朗 .
中国专利 :CN103109373B ,2013-05-15
[10]
薄膜半导体装置的制作方法及薄膜半导体装置 [P]. 
野本和正 ;
平井畅一 ;
安田亮一 ;
八木岩 ;
三成刚生 ;
塚越一仁 ;
青柳克信 .
中国专利 :CN101595568A ,2009-12-02