共 50 条
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检查装置
被引：0
申请号：
CN202210896934.2
申请日：
2022-07-28
公开(公告)号：
CN115706024A
公开(公告)日：
2023-02-17
发明(设计)人：
木村展之
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-17 | 公开 | 公开 |