一种清洗管结构及晶圆修边机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721059495.0

申请日：

2017-08-23

公开(公告)号：

CN207282463U

公开(公告)日：

2018-04-27

发明(设计)人：

吴虎詹明松

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

俞涤炯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗机台 [P].

陈嘉勇 .

中国专利 :CN222071891U ,2024-11-26

[2]

一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

杜博 ;

汪灵哲 ;

晋好然 ;

海森 .

中国专利 :CN118080406A ,2024-05-28

[3]

晶圆修边方法及晶圆修边机台 [P].

张志军 ;

杨一凡 ;

温川江 ;

杨雪 ;

高志强 .

中国专利 :CN115172142B ,2024-10-18

[4]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN112974324B ,2021-06-18

[5]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[6]

晶圆清洗机台 [P].

吕慧超 ;

高英哲 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN209487474U ,2019-10-11

[7]

一种晶圆清洗机台 [P].

袁林涛 ;

张文福 ;

高英哲 .

中国专利 :CN208014670U ,2018-10-26

[8]

一种晶圆清洗机台 [P].

朱李鹏 ;

蒋橙澄 ;

仲树根 ;

刘志强 .

中国专利 :CN223624940U ,2025-12-02

[9]

一种晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

江伟 ;

尹影 ;

庞浩 ;

徐俊成 .

中国专利 :CN111477537A ,2020-07-31

[10]

晶圆清洗结构及涂胶显影装置 [P].

唐磊 ;

杨军 ;

颜廷彪 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208674084U ,2019-03-29

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