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一种对准系统及光刻机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010225390.8
申请日：
2020-03-26
公开(公告)号：
CN113448193B
公开(公告)日：
2021-09-28
发明(设计)人：
高安
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
IPC主分类号：
G03F900
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
孟金喆
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20200326 |
| 2021-09-28 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-13 | 授权 | 授权 |