曝光系统、曝光装置以及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080021585.9

申请日：

2020-03-18

公开(公告)号：

CN113574459A

公开(公告)日：

2021-10-29

发明(设计)人：

川上雄介布川泰辉

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

褚瑶杨;于洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200318
2021-10-29	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光方法以及曝光系统 [P].

桥本圣昭 ;

高松大辅 ;

高桥辽太郎 ;

比企达也 ;

野北宽太 .

日本专利 :CN118215890A ,2024-06-18

[2]

曝光系统、曝光系统的控制装置以及曝光系统的控制方法 [P].

大畑公孝 ;

木村忠信 ;

大河原直人 .

中国专利 :CN103999192A ,2014-08-20

[3]

曝光方法、器件制造方法、曝光装置、以及曝光系统 [P].

渡边阳司 .

日本专利 :CN118871862A ,2024-10-29

[4]

曝光装置、曝光系统及曝光方法 [P].

万冀豫 ;

吴洪江 ;

黄常刚 ;

王耸 ;

张继凯 .

中国专利 :CN103353710A ,2013-10-16

[5]

曝光系统、曝光装置及曝光方法 [P].

蓝科 ;

戈亚萍 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN107092166A ,2017-08-25

[6]

曝光机构、曝光装置及曝光系统 [P].

张迅 ;

易伟华 ;

刘芳 ;

刘松林 .

中国专利 :CN107908079B ,2018-04-13

[7]

曝光系统及其曝光方法 [P].

林本坚 .

中国专利 :CN1490673A ,2004-04-21

[8]

曝光装置和曝光系统 [P].

陈云飞 .

中国专利 :CN207895226U ,2018-09-21

[9]

曝光装置及曝光系统 [P].

查长军 ;

黎敏 ;

吴洪江 .

中国专利 :CN103885298B ,2014-06-25

[10]

曝光系统及曝光装置 [P].

张恒 ;

方宗豹 ;

浦东林 ;

朱雷 ;

司群英 ;

陈林森 .

中国专利 :CN115685686A ,2023-02-03

← 1 2 3 4 5 →