曝光系统及其曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02145826.X

申请日：

2002-10-14

公开(公告)号：

CN1490673A

公开(公告)日：

2004-04-21

发明(设计)人：

林本坚

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F7207

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

陈红;潘培坤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-03-15	授权	授权
2004-06-30	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-04-21	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光系统及曝光方法 [P].

万冀豫 ;

吴洪江 ;

黄常刚 ;

王耸 ;

张继凯 .

中国专利 :CN103353710A ,2013-10-16

[2]

曝光方法以及曝光系统 [P].

桥本圣昭 ;

高松大辅 ;

高桥辽太郎 ;

比企达也 ;

野北宽太 .

日本专利 :CN118215890A ,2024-06-18

[3]

曝光系统、曝光装置及曝光方法 [P].

蓝科 ;

戈亚萍 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN107092166A ,2017-08-25

[4]

曝光系统、曝光装置以及曝光方法 [P].

川上雄介 ;

布川泰辉 .

中国专利 :CN113574459A ,2021-10-29

[5]

曝光系统、曝光系统的控制装置以及曝光系统的控制方法 [P].

大畑公孝 ;

木村忠信 ;

大河原直人 .

中国专利 :CN103999192A ,2014-08-20

[6]

曝光机构、曝光装置及曝光系统 [P].

张迅 ;

易伟华 ;

刘芳 ;

刘松林 .

中国专利 :CN107908079B ,2018-04-13

[7]

曝光方法及曝光系统 [P].

廖绍良 ;

胡传武 ;

张雷 .

中国专利 :CN111999990B ,2020-11-27

[8]

曝光装置和曝光系统 [P].

陈云飞 .

中国专利 :CN207895226U ,2018-09-21

[9]

曝光装置及曝光系统 [P].

查长军 ;

黎敏 ;

吴洪江 .

中国专利 :CN103885298B ,2014-06-25

[10]

曝光系统及曝光方法 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN113759672B ,2024-06-11

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