非晶硅薄膜的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710002574.2

申请日：

2007-01-29

公开(公告)号：

CN101235490A

公开(公告)日：

2008-08-06

发明(设计)人：

李沅民马昕

申请人：

申请人地址：

100086北京市海淀区中关村南大街2号数码大厦B－901北京行者多媒体科技有限公司

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C1624 C23C1652 H01L310216

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-01-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-08-04	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101003649202 IPC(主分类):C23C 16/513 专利号:无专利申请号:2007100025742 收件人:马昕文件名称:第一次审查意见通知书
2011-04-27	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101082279740 IPC(主分类):C23C 16/513 专利号:无专利申请号:2007100025742 收件人:赛瑞能太阳能光电技术(北京)有限公司文件名称:视为撤回通知书
2011-11-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101204505839 IPC(主分类):C23C 16/513 专利申请号:2007100025742 公开日:20080806
2008-08-06	公开	公开

共 50 条

[1]

微晶硅薄膜的形成方法 [P].

李沅民 ;

马昕 .

中国专利 :CN101237005A ,2008-08-06

[2]

掺氧氢化非晶硅薄膜高效钝化晶硅异质结太阳能电池用硅片的方法 [P].

黄海宾 ;

周浪 ;

沃尔夫冈·法赫纳 ;

张东华 .

中国专利 :CN103590014B ,2014-02-19

[3]

非晶硅薄膜中间带材料及其制备方法 [P].

曹权 ;

周天微 ;

左玉华 ;

王启明 .

中国专利 :CN102544243A ,2012-07-04

[4]

氢化非晶硅薄膜制备方法 [P].

周耐根 ;

罗耀榕 ;

周浪 ;

黄海宾 .

中国专利 :CN109545656A ,2019-03-29

[5]

制备非晶硅薄膜的方法 [P].

宋利娟 .

中国专利 :CN110970287B ,2020-04-07

[6]

金属点阵诱导非晶硅薄膜晶化的方法 [P].

朱开贵 ;

陈芳芳 .

中国专利 :CN102751175A ,2012-10-24

[7]

一种制备非晶硅薄膜的方法 [P].

贾锐 ;

陈晨 ;

李维龙 ;

刘明 ;

叶甜春 .

中国专利 :CN101928918A ,2010-12-29

[8]

非晶硅薄膜太阳能电池 [P].

胡居涛 ;

庄春泉 ;

王勇 ;

邱骏 ;

符政宽 .

中国专利 :CN203553184U ,2014-04-16

[9]

非晶硅薄膜太阳能电池 [P].

钱惠富 ;

王振龙 .

中国专利 :CN102117856A ,2011-07-06

[10]

一种非晶硅薄膜可控同质外延生长的方法 [P].

花国然 ;

王强 ;

张华 ;

罗辰 ;

顾江 ;

陈宏 .

中国专利 :CN101866838A ,2010-10-20

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