等离子体加速器装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99809994.5

申请日：

1999-06-11

公开(公告)号：

CN1314070A

公开(公告)日：

2001-09-19

发明(设计)人：

冈特·科恩费尔德于尔根·韦格纳哈拉尔·塞德尔

申请人：

申请人地址：

德国乌尔姆

IPC主分类号：

H05H154

IPC分类号：

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

武玉琴;朱登河

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2001-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2019-05-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H 1/54 申请日:19990611 授权公告日:20041201 终止日期:20180611
2001-09-19	公开	公开
2004-12-01	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体加速器 [P].

朴源泽 ;

瓦西里·帕什科夫斯基 ;

尤里·托尔马切夫 .

中国专利 :CN1953636B ,2007-04-25

[2]

等离子体加速器装置 [P].

冈特·科恩菲尔德 ;

沃纳·施韦特费格 .

中国专利 :CN1418453A ,2003-05-14

[3]

等离子体加速器装置 [P].

冈特·科恩菲尔德 ;

沃纳·施韦特费格 .

中国专利 :CN1418290A ,2003-05-14

[4]

等离子体加速器法离子镀膜装置 [P].

王殿儒 ;

田大准 .

中国专利 :CN1013964B ,1988-03-30

[5]

等离子体加速器法离子镀膜装置 [P].

王殿儒 .

中国专利 :CN2042082U ,1989-08-02

[6]

具有离子加速器的双室等离子体蚀刻器 [P].

乔伊迪普·古哈 .

中国专利 :CN104282522A ,2015-01-14

[7]

具有离子加速器的双室等离子体蚀刻器 [P].

乔伊迪普·古哈 .

中国专利 :CN107068559B ,2017-08-18

[8]

等离子体级联激光离子加速装置 [P].

刘明伟 ;

周并举 ;

张禹涛 .

中国专利 :CN204259270U ,2015-04-08

[9]

等离子体级联激光离子加速装置 [P].

刘明伟 ;

周并举 ;

张禹涛 .

中国专利 :CN104411084B ,2015-03-11

[10]

一种双极固体烧蚀型等离子体加速器 [P].

杨磊 ;

黄玉平 ;

曾广商 ;

杨斌 ;

闫丽媛 .

中国专利 :CN106640568A ,2017-05-10

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