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等离子体加速器法离子镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN89200444.4
申请日：
1989-01-14
公开(公告)号：
CN2042082U
公开(公告)日：
1989-08-02
发明(设计)人：
王殿儒
申请人：
申请人地址：
北京市海淀区白石桥路7号
IPC主分类号：
C23C1432
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1990-03-14 | 授权 | 授权 |
| 1989-08-02 | 公开 | 公开 |
| 1994-03-23 | 专利权有效期的续展(依据修改前的专利法第45条) | 专利权有效期的续展(依据修改前的专利法第45条) |
| 1997-07-23 | 专利权的终止专利权有效期届满 | 专利权的终止专利权有效期届满 |