高纯度多晶硅的制造装置及制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200810084016.X
申请日
2008-03-18
公开(公告)号
CN101311113B
公开(公告)日
2008-11-26
发明(设计)人
并木伸明
申请人
申请人地址
日本东京都千代田区大手町二丁目2番1号
IPC主分类号
B01J1202
IPC分类号
C01B33033 C30B2906 C30B2814
代理机构
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019
代理人
寿宁;张华辉
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
高纯度多晶硅的制造方法 [P]. 
船崎和则 ;
佐藤一臣 ;
宫尾秀一 .
中国专利 :CN104395236A ,2015-03-04
[2]
多晶硅的制造装置、制造方法及多晶硅 [P]. 
石川浩一 .
中国专利 :CN114502509A ,2022-05-13
[3]
多晶硅的制造装置、制造方法及多晶硅 [P]. 
石川浩一 .
日本专利 :CN114502509B ,2025-08-05
[4]
多晶硅制造系统、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P]. 
祢津茂义 ;
小黑晓二 ;
清水孝明 ;
黑泽靖志 ;
久米史高 .
中国专利 :CN102498063A ,2012-06-13
[5]
多晶硅制造装置以及多晶硅制造方法 [P]. 
大久保秀一 ;
山口雅嗣 .
中国专利 :CN103153856A ,2013-06-12
[6]
多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P]. 
黑泽靖志 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN103328380A ,2013-09-25
[7]
多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P]. 
黑泽靖志 ;
祢津茂义 ;
星野成大 .
中国专利 :CN103702938B ,2014-04-02
[8]
多晶硅的制造方法、多晶硅的制造装置、和多晶硅 [P]. 
漆原诚 ;
水岛一树 .
中国专利 :CN101956232B ,2011-01-26
[9]
多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭 [P]. 
续桥浩司 ;
胁田三郎 ;
池田洋 ;
金井昌弘 .
中国专利 :CN103003200A ,2013-03-27
[10]
多晶硅制造装置 [P]. 
朴成殷 ;
金知雄 ;
李熙东 .
中国专利 :CN108025918A ,2018-05-11