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半导体集成电路装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN97122652.0
申请日：
1997-11-26
公开(公告)号：
CN1195196A
公开(公告)日：
1998-10-07
发明(设计)人：
飞田洋一
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2708
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
姜郛厚;叶恺东
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-02-02 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101035913172 IPC(主分类):H01L 27/08 专利号:ZL971226520 申请日:19971126 授权公告日:20030702 终止日期:20091228 |
| 1998-10-07 | 公开 | 公开 |
| 2003-07-02 | 授权 | 授权 |
| 1998-07-08 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |