曝光装置和用于制造曝光装置的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200380100089.9

申请日：

2003-10-10

公开(公告)号：

CN1684836A

公开(公告)日：

2005-10-19

发明(设计)人：

盐田聪安永真增浏贞夫岩子彰展横山正史

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B41J2445

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

秦晨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-10-19	公开	公开
2005-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-03-29	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101748973974 IPC(主分类):B41J 2/445 专利号:ZL2003801000899 变更事项:专利权人变更前:西铁城控股株式会社变更后:西铁城时计株式会社变更事项:地址变更前:日本东京都变更后:日本东京都
2008-07-02	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光方法和物品的制造方法 [P].

佐佐木玲央 ;

远藤淳生 ;

西川友弘 .

日本专利 :CN121069707A ,2025-12-05

[2]

曝光装置、曝光方法和物品的制造方法 [P].

椎野响太 ;

佐佐木玲央 ;

三浦孝夫 .

日本专利 :CN120559955A ,2025-08-29

[3]

曝光装置、曝光方法和产品的制造方法 [P].

住吉雄平 .

中国专利 :CN115509091A ,2022-12-23

[4]

曝光装置、曝光方法和器件的制造方法 [P].

籔伸彦 .

中国专利 :CN106560745A ,2017-04-12

[5]

曝光装置、曝光方法和物品的制造方法 [P].

平井真一郎 ;

本岛顺一 ;

大川直人 .

中国专利 :CN108073048B ,2018-05-25

[6]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

日本专利 :CN113759666B ,2024-09-13

[7]

曝光方法、曝光装置和物品制造方法 [P].

籔伸彦 .

中国专利 :CN105573064A ,2016-05-11

[8]

曝光装置、曝光方法和器件制造方法 [P].

长坂博之 ;

高岩宏明 ;

蛭川茂 .

中国专利 :CN102163004A ,2011-08-24

[9]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

本岛顺一 .

日本专利 :CN118838124A ,2024-10-25

[10]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

大阪升 .

中国专利 :CN110286562A ,2019-09-27

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