一种等离子体刻蚀机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520127847.6

申请日：

2015-03-05

公开(公告)号：

CN204391038U

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

缪国芳王志宝谢贤清

申请人：

申请人地址：

215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251

代理人：

陆金星

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20150305 授权公告日:20150610 终止日期:20170305
2015-06-10	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体刻蚀机 [P].

伍波 ;

张勇 ;

李果山 .

中国专利 :CN201194232Y ,2009-02-11

[2]

等离子体刻蚀机 [P].

刘波 ;

单书珊 ;

乔彦彬 ;

李建强 ;

陈燕宁 ;

张海峰 .

中国专利 :CN208444807U ,2019-01-29

[3]

等离子体刻蚀机 [P].

邱勇 ;

刘海洋 ;

李娜 ;

王铖熠 ;

侯永刚 ;

陈兆超 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN111383888A ,2020-07-07

[4]

等离子体刻蚀机 [P].

王长梗 .

中国专利 :CN306033696S ,2020-09-04

[5]

等离子体刻蚀机台 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN203895414U ,2014-10-22

[6]

等离子体刻蚀机反应腔的内衬及等离子体刻蚀机反应腔 [P].

李娜 ;

胡冬冬 ;

程实然 ;

许开东 .

中国专利 :CN206432234U ,2017-08-22

[7]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973B ,2025-06-17

[8]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973A ,2024-09-20

[9]

一种等离子体刻蚀机的腔体 [P].

吴福仁 ;

霍曜 ;

李彬彬 ;

李瑞评 .

中国专利 :CN216054569U ,2022-03-15

[10]

一种等离子体刻蚀机及其刻蚀方法 [P].

赵智星 .

中国专利 :CN112490107A ,2021-03-12

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