具有对准标记的图案模板及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710194762.X

申请日：

2007-12-03

公开(公告)号：

CN101201538B

公开(公告)日：

2008-06-18

发明(设计)人：

赵恩亨左圣熏孙镇昇李斗铉金海成

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道水原市灵通区梅滩洞416

IPC主分类号：

G03F142

IPC分类号：

G03F700 G03F900 H01L23544

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司 11286

代理人：

郭鸿禧;邱玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-23	授权	授权
2010-01-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-06-18	公开	公开

共 50 条

[1]

对准、重叠、配置标记、制造图案形成装置和图案化标记的方法 [P].

代晋 ;

桑雅辛格·拉尔巴哈朵尔辛 .

:CN114008540B ,2024-12-17

[2]

对准、重叠、配置标记、制造图案形成装置和图案化标记的方法 [P].

代晋 ;

桑雅辛格·拉尔巴哈朵尔辛 .

中国专利 :CN114008540A ,2022-02-01

[3]

具有对准标记的柔性显示设备及其组装方法 [P].

金玲官 ;

李普爀 .

韩国专利 :CN111244135B ,2024-10-15

[4]

具有对准标记的柔性显示设备及其组装方法 [P].

金玲官 ;

李普爀 .

中国专利 :CN111244135A ,2020-06-05

[5]

带对准标记的基板的制造方法 [P].

前田昌纪 ;

原义仁 ;

大东彻 ;

今井元 ;

北川英树 ;

伊藤俊克 ;

川崎达也 .

中国专利 :CN109427661A ,2019-03-05

[6]

对准标记及其形成方法、半导体的对准方法 [P].

林鸿铭 ;

林晓江 ;

蔡孟峰 ;

邱德安 .

中国专利 :CN101567302A ,2009-10-28

[7]

具有图案的透明材料及其制造方法 [P].

朱显德 .

中国专利 :CN106847379A ,2017-06-13

[8]

对准标记线宽的测量方法及其测量系统 [P].

么铭怡 ;

周光迎 ;

李亮 ;

程修艳 ;

姜淼 ;

师江柳 .

中国专利 :CN121115412A ,2025-12-12

[9]

具有隐形图案的基材及其加工方法 [P].

杨敏男 .

中国专利 :CN101289046A ,2008-10-22

[10]

柔性显示装置及其制造方法和柔性导电图案 [P].

金暻鍱 ;

韩相允 ;

朴成均 ;

朴容佑 ;

孙正河 ;

姜帝旭 ;

丁汉荣 .

中国专利 :CN107369699A ,2017-11-21

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