一种IGZO靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011499754.8

申请日：

2020-12-17

公开(公告)号：

CN112537954B

公开(公告)日：

2021-03-23

发明(设计)人：

王晨丁金铎葛春桥柳春锡金志洸崔恒

申请人：

申请人地址：

528400 广东省中山市板芙镇古神公路智能制造装备产业园

IPC主分类号：

C04B35453

IPC分类号：

C04B3501 C04B35622

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

尹凡华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/453 申请日:20201217
2022-04-15	授权	授权
2021-03-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

李心然 ;

王东旭 ;

王永超 ;

王伟涛 ;

赵泽良 .

中国专利 :CN118930246A ,2024-11-12

[2]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

何建进 ;

黄誓成 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103819178A ,2014-05-28

[3]

一种IGZO靶材及其制备方法 [P].

唐安泰 ;

唐智勇 ;

程波 .

中国专利 :CN117285344B ,2024-04-16

[4]

一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用 [P].

周志宏 ;

陈常清 ;

周昭宇 .

中国专利 :CN118184311B ,2024-08-13

[5]

一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用 [P].

周志宏 ;

陈常清 ;

周昭宇 .

中国专利 :CN118184311A ,2024-06-14

[6]

一种IGZO靶材及其制备方法、检测系统 [P].

唐智勇 .

中国专利 :CN114790106A ,2022-07-26

[7]

一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法 [P].

樊繁 ;

王莉莉 ;

徐灿辉 ;

农永萍 ;

赵明勇 .

中国专利 :CN117447188A ,2024-01-26

[8]

一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法 [P].

樊繁 ;

王莉莉 ;

徐灿辉 ;

农永萍 ;

赵明勇 .

中国专利 :CN117447188B ,2025-08-22

[9]

一种IGZO废素坯回收制备IGZO靶材的方法 [P].

司振华 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113233888A ,2021-08-10

[10]

一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法 [P].

孔伟华 .

中国专利 :CN113354393A ,2021-09-07

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