一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410605416.X

申请日：

2024-05-16

公开(公告)号：

CN118184311A

公开(公告)日：

2024-06-14

发明(设计)人：

周志宏陈常清周昭宇

申请人：

广州市尤特新材料有限公司

申请人地址：

510000 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

IPC主分类号：

C04B35/01

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/63 C23C14/08 C23C14/35

代理机构：

广州一锐专利代理有限公司 44369

代理人：

周升铭

法律状态：

授权

国省代码：

广东省广州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-13	授权	授权
2024-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/01申请日:20240516
2024-06-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用 [P].

周志宏 ;

陈常清 ;

周昭宇 .

中国专利 :CN118184311B ,2024-08-13

[2]

两步烧结工艺制备IGZO陶瓷靶材的方法 [P].

刘洋 ;

孙本双 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

朱锦鹏 .

中国专利 :CN110002853A ,2019-07-12

[3]

一种IGZO靶材及其制备方法 [P].

唐安泰 ;

唐智勇 ;

程波 .

中国专利 :CN117285344B ,2024-04-16

[4]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

王晨 ;

丁金铎 ;

葛春桥 ;

柳春锡 ;

金志洸 ;

崔恒 .

中国专利 :CN112537954B ,2021-03-23

[5]

一种IGZO废素坯回收制备IGZO靶材的方法 [P].

司振华 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113233888A ,2021-08-10

[6]

一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法 [P].

孔伟华 .

中国专利 :CN113354393A ,2021-09-07

[7]

一种IGZO靶材及其制备方法、检测系统 [P].

唐智勇 .

中国专利 :CN114790106A ,2022-07-26

[8]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

何建进 ;

黄誓成 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103819178A ,2014-05-28

[9]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

李心然 ;

王东旭 ;

王永超 ;

王伟涛 ;

赵泽良 .

中国专利 :CN118930246A ,2024-11-12

[10]

一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

鄢波 ;

陈光园 .

中国专利 :CN120518390B ,2025-09-26

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