一种IGZO靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411168325.0

申请日：

2024-08-23

公开(公告)号：

CN118930246A

公开(公告)日：

2024-11-12

发明(设计)人：

李心然王东旭王永超王伟涛赵泽良

申请人：

河南东微电子材料有限公司

申请人地址：

450000 河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/622 C23C14/08

代理机构：

河南景润知识产权代理有限公司 41262

代理人：

李侗

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河南省郑州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20240823
2024-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

王晨 ;

丁金铎 ;

葛春桥 ;

柳春锡 ;

金志洸 ;

崔恒 .

中国专利 :CN112537954B ,2021-03-23

[2]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

何建进 ;

黄誓成 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103819178A ,2014-05-28

[3]

一种IGZO靶材及其制备方法 [P].

唐安泰 ;

唐智勇 ;

程波 .

中国专利 :CN117285344B ,2024-04-16

[4]

一种IGZO靶材及其制备方法、检测系统 [P].

唐智勇 .

中国专利 :CN114790106A ,2022-07-26

[5]

一种IGZO废素坯回收制备IGZO靶材的方法 [P].

司振华 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113233888A ,2021-08-10

[6]

一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用 [P].

周志宏 ;

陈常清 ;

周昭宇 .

中国专利 :CN118184311B ,2024-08-13

[7]

一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用 [P].

周志宏 ;

陈常清 ;

周昭宇 .

中国专利 :CN118184311A ,2024-06-14

[8]

一种IGZO粉体、靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

邵学亮 ;

张来稳 ;

朱刘 .

中国专利 :CN112939576A ,2021-06-11

[9]

一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法 [P].

樊繁 ;

王莉莉 ;

徐灿辉 ;

农永萍 ;

赵明勇 .

中国专利 :CN117447188A ,2024-01-26

[10]

一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法 [P].

樊繁 ;

王莉莉 ;

徐灿辉 ;

农永萍 ;

赵明勇 .

中国专利 :CN117447188B ,2025-08-22

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