一种IGZO粉体、靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110266688.8

申请日：

2021-03-11

公开(公告)号：

CN112939576A

公开(公告)日：

2021-06-11

发明(设计)人：

李开杰邵学亮张来稳朱刘

申请人：

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C04B3501

IPC分类号：

C04B35622 C04B35626

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

颜希文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/01 申请日:20210311
2021-06-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种IGZO靶材及其制备方法 [P].

唐安泰 ;

唐智勇 ;

程波 .

中国专利 :CN117285344B ,2024-04-16

[2]

一种IGZO靶材及其制备方法、检测系统 [P].

唐智勇 .

中国专利 :CN114790106A ,2022-07-26

[3]

一种IGZO陶瓷靶材及其制备方法 [P].

孔伟华 ;

刘洪强 ;

高延红 .

中国专利 :CN120794574B ,2025-11-28

[4]

一种IGZO陶瓷靶材及其制备方法 [P].

孔伟华 ;

刘洪强 ;

高延红 .

中国专利 :CN120794574A ,2025-10-17

[5]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

王晨 ;

丁金铎 ;

葛春桥 ;

柳春锡 ;

金志洸 ;

崔恒 .

中国专利 :CN112537954B ,2021-03-23

[6]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

何建进 ;

黄誓成 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103819178A ,2014-05-28

[7]

一种IGZO靶材的制备方法 [P].

李心然 ;

王东旭 ;

王永超 ;

王伟涛 ;

赵泽良 .

中国专利 :CN118930246A ,2024-11-12

[8]

一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用 [P].

周志宏 ;

陈常清 ;

周昭宇 .

中国专利 :CN118184311B ,2024-08-13

[9]

一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用 [P].

周志宏 ;

陈常清 ;

周昭宇 .

中国专利 :CN118184311A ,2024-06-14

[10]

一种IGZO废素坯回收制备IGZO靶材的方法 [P].

司振华 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113233888A ,2021-08-10

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