两步烧结工艺制备IGZO陶瓷靶材的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910351001.3
申请日
2019-04-28
公开(公告)号
CN110002853A
公开(公告)日
2019-07-12
发明(设计)人
刘洋 孙本双 舒永春 曾学云 朱锦鹏
申请人
申请人地址
450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号
IPC主分类号
C04B3501
IPC分类号
C04B35453 C04B35622 C04B3564 C23C1435 C23C1408
代理机构
北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557
代理人
朱春野
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法 [P]. 
樊繁 ;
王莉莉 ;
徐灿辉 ;
农永萍 ;
赵明勇 .
中国专利 :CN117447188A ,2024-01-26
[2]
一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法 [P]. 
樊繁 ;
王莉莉 ;
徐灿辉 ;
农永萍 ;
赵明勇 .
中国专利 :CN117447188B ,2025-08-22
[3]
一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用 [P]. 
周志宏 ;
陈常清 ;
周昭宇 .
中国专利 :CN118184311B ,2024-08-13
[4]
一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用 [P]. 
周志宏 ;
陈常清 ;
周昭宇 .
中国专利 :CN118184311A ,2024-06-14
[5]
一种β-FeSe超导陶瓷及两步烧结制备方法 [P]. 
吴云翼 ;
郜健 .
中国专利 :CN103910527A ,2014-07-09
[6]
一种IGZO陶瓷靶材及其制备方法 [P]. 
孔伟华 ;
刘洪强 ;
高延红 .
中国专利 :CN120794574B ,2025-11-28
[7]
一种IGZO陶瓷靶材及其制备方法 [P]. 
孔伟华 ;
刘洪强 ;
高延红 .
中国专利 :CN120794574A ,2025-10-17
[8]
一种IGZO靶材的制备方法 [P]. 
王晨 ;
丁金铎 ;
葛春桥 ;
柳春锡 ;
金志洸 ;
崔恒 .
中国专利 :CN112537954B ,2021-03-23
[9]
一种两步烧结制备铌酸钾钠基压电陶瓷的方法 [P]. 
陈异 ;
潘永齐 ;
黄龙飞 ;
冯洁 ;
徐尊平 .
中国专利 :CN115477538A ,2022-12-16
[10]
一种两步分段烧结法制备高致密ITO靶材的方法 [P]. 
许亚利 ;
方宏 ;
刘冠鹏 ;
崔晓芳 .
中国专利 :CN106977179B ,2017-07-25