一种硅锗纳米线的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611072423.X

申请日：

2016-11-29

公开(公告)号：

CN106653566A

公开(公告)日：

2017-05-10

发明(设计)人：

刘丽蓉王勇丁超

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑13栋6楼607室

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

B82Y4000

代理机构：

广东莞信律师事务所 44332

代理人：

曾秋梅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101724561902 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:201611072423X 申请日:20161129
2020-02-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20170510
2017-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅锗纳米线的制作方法 [P].

王勇 ;

王瑛 ;

丁超 .

中国专利 :CN106229256A ,2016-12-14

[2]

一种硅纳米线的制作方法 [P].

刘丽蓉 ;

王勇 ;

丁超 .

中国专利 :CN106783618A ,2017-05-31

[3]

一种硅纳米线的制作方法 [P].

王慧泉 ;

金仲和 ;

郑阳明 ;

王跃林 ;

李铁 .

中国专利 :CN1958436A ,2007-05-09

[4]

一种锗纳米线结构的制作方法 [P].

王盛凯 ;

刘洪刚 ;

孙兵 ;

常虎东 ;

赵威 .

中国专利 :CN103693615A ,2014-04-02

[5]

一种硅纳米线的制作方法 [P].

王跃林 ;

李欣昕 ;

刘文平 .

中国专利 :CN1215530C ,2004-02-11

[6]

硅和硅锗纳米线的形成 [P].

江国诚 ;

卡洛斯·H·迪亚兹 ;

让-皮埃尔·科林格 .

中国专利 :CN104425495A ,2015-03-18

[7]

一种锗纳米线叠层结构的制作方法 [P].

王盛凯 ;

刘洪刚 ;

孙兵 ;

常虎东 ;

赵威 .

中国专利 :CN103700582A ,2014-04-02

[8]

一种硅纳米线的制作方法 [P].

田伟 ;

陶继方 ;

温良恭 .

中国专利 :CN121158724A ,2025-12-19

[9]

纳米线结构的制作方法 [P].

李俊杰 ;

崔虎山 ;

朱慧珑 ;

赵超 .

中国专利 :CN107342312A ,2017-11-10

[10]

硅纳米线器件的制作方法 [P].

景旭斌 ;

杨斌 ;

郭明升 .

中国专利 :CN102354669B ,2012-02-15

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