电子装置的光刻图案化

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580076711.X

申请日：

2015-12-23

公开(公告)号：

CN107251190A

公开(公告)日：

2017-10-13

发明(设计)人：

道格拉斯·罗伯特·罗贝洛特伦斯·罗伯特·欧图尔弗兰克·沙维尔·伯恩黛安娜·卡罗尔·弗里曼

申请人：

申请人地址：

美国纽约州

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

H01L5100

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

蔡胜有;顾晋伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-10	授权	授权
2017-10-13	公开	公开
2018-01-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20151223

共 50 条

[1]

装置的光刻图案化 [P].

特伦斯·罗伯特·欧图尔 ;

约翰·安德鲁·德弗兰科 ;

弗兰克·沙维尔·伯恩 .

中国专利 :CN107112440B ,2017-08-29

[2]

有机电子装置的光刻法图案化 [P].

约翰·安德鲁·德弗兰科 ;

特伦斯·罗伯特·欧图尔 .

中国专利 :CN107112418B ,2017-08-29

[3]

装置的光刻图案化 [P].

约翰·安德鲁·德弗兰科 ;

查尔斯·沃伦·赖特 ;

道格拉斯·罗贝特·罗贝洛 ;

弗兰克·沙维尔·伯恩 ;

黛安娜·卡罗尔·弗里曼 ;

特伦斯·罗伯特·欧图尔 .

中国专利 :CN107111254A ,2017-08-29

[4]

有机电子装置的光刻法图案化 [P].

约翰·安德鲁·德弗兰科 ;

特伦斯·罗伯特·欧图尔 ;

弗兰克·沙维尔·伯恩 ;

黛安娜·卡罗尔·弗里曼 .

中国专利 :CN110459677B ,2019-11-15

[5]

有机电子装置的光刻法图案化 [P].

约翰·安德鲁·德弗兰科 ;

特伦斯·罗伯特·欧图尔 ;

弗兰克·沙维尔·伯恩 ;

黛安娜·卡罗尔·弗里曼 .

中国专利 :CN107112417A ,2017-08-29

[6]

光刻图案化的方法 [P].

赖韦翰 ;

王建惟 ;

林进祥 .

中国专利 :CN108227409B ,2018-06-29

[7]

光刻图案化的方法 [P].

张莉琳 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN108333866B ,2018-07-27

[8]

光刻图案化的方法 [P].

陈彦豪 ;

赖韦翰 ;

王建惟 ;

林进祥 .

中国专利 :CN108121154A ,2018-06-05

[9]

用于光刻图案化的方法 [P].

刘朕与 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN108663909A ,2018-10-16

[10]

电子装置的OVJP图案化 [P].

史蒂芬·福瑞斯特 ;

格雷戈里·麦格劳 .

中国专利 :CN103814454A ,2014-05-21

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