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一种低成本网版二次曝光复晒用托盘
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021061578.5
申请日：
2020-06-09
公开(公告)号：
CN212905893U
公开(公告)日：
2021-04-06
发明(设计)人：
祖伟星
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区泰山路689号
IPC主分类号：
G03F712
IPC分类号：
G03F720
代理机构：
长沙中科启明知识产权代理事务所(普通合伙) 43226
代理人：
匡治兵
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-06 | 授权 | 授权 |