一种低成本网版二次曝光复晒用托盘

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021061578.5
申请日
2020-06-09
公开(公告)号
CN212905893U
公开(公告)日
2021-04-06
发明(设计)人
祖伟星
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区泰山路689号
IPC主分类号
G03F712
IPC分类号
G03F720
代理机构
长沙中科启明知识产权代理事务所(普通合伙) 43226
代理人
匡治兵
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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