一种抛光垫的修整装置及修整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910865033.5

申请日：

2019-09-09

公开(公告)号：

CN110625528B

公开(公告)日：

2019-12-31

发明(设计)人：

赵晟佑

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

B24B5312

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;胡影

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 53/017 申请日:20190909
2021-11-02	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):B24B 53/017 登记生效日:20211021 变更事项:申请人变更前权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司变更后权利人:西安奕斯伟材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室变更后权利人:710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室变更事项:申请人变更后权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司
2019-12-31	公开	公开
2022-02-01	授权	授权

共 50 条

[41]

化学机械抛光抛光垫修整装置 [P].

钟旻 .

中国专利 :CN203542368U ,2014-04-16

[42]

一种具有测量抛光垫厚度的修整装置及抛光设备 [P].

张敏杰 ;

费玖海 ;

李伟 ;

尹影 .

中国专利 :CN109500741A ,2019-03-22

[43]

抛光垫修整器及修整设备 [P].

詹阳 ;

姜家宏 ;

李婷 .

中国专利 :CN107457702B ,2017-12-12

[44]

一种修整装置及修整方法 [P].

赵航 .

中国专利 :CN117894656A ,2024-04-16

[45]

抛光垫修整方法 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

沈攀 .

中国专利 :CN102248486B ,2011-11-23

[46]

抛光垫修整头和具有该抛光垫修整头的抛光垫修整器 [P].

路新春 ;

沈攀 ;

何永勇 .

中国专利 :CN202479968U ,2012-10-10

[47]

一种便于调节的抛光垫修整装置 [P].

佘义庆 ;

王宗江 .

中国专利 :CN222430411U ,2025-02-07

[48]

抛光垫修整器用支撑座及抛光垫修整器 [P].

徐良 ;

杨新鹏 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

黄仕华 ;

李京波 ;

夏建白 .

中国专利 :CN214445577U ,2021-10-22

[49]

弯头修整装置及修整方法 [P].

李红克 ;

张海泉 ;

张作义 ;

刘继国 ;

聂君锋 ;

吴宗鑫 .

中国专利 :CN102225520A ,2011-10-26

[50]

机械修整装置及修整方法 [P].

戈兰·西维斯 .

中国专利 :CN102298975A ,2011-12-28

← 1 2 3 4 5 →