一种抛光垫的修整装置及修整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910865033.5

申请日：

2019-09-09

公开(公告)号：

CN110625528B

公开(公告)日：

2019-12-31

发明(设计)人：

赵晟佑

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

B24B5312

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;胡影

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 53/017 申请日:20190909
2021-11-02	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):B24B 53/017 登记生效日:20211021 变更事项:申请人变更前权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司变更后权利人:西安奕斯伟材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室变更后权利人:710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室变更事项:申请人变更后权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司
2019-12-31	公开	公开
2022-02-01	授权	授权

共 50 条

[21]

一种抛光垫修整装置 [P].

陶翔 ;

高源 .

中国专利 :CN217833263U ,2022-11-18

[22]

一种抛光垫修整装置 [P].

陈盈同 .

中国专利 :CN106078517A ,2016-11-09

[23]

抛光垫修整器及其制造方法、抛光垫修整装置及抛光系统 [P].

姚力军 ;

大岩一彦 ;

相原俊夫 ;

潘杰 ;

王学泽 .

中国专利 :CN104209863A ,2014-12-17

[24]

一种抛光垫修整装置 [P].

陈盈同 .

中国专利 :CN206169887U ,2017-05-17

[25]

一种抛光垫修整装置 [P].

任明元 ;

梁春 ;

刘文平 ;

强彦东 .

中国专利 :CN117300904B ,2024-01-23

[26]

研磨垫修整装置及研磨垫修整方法 [P].

弓艳霞 .

中国专利 :CN106272075B ,2017-01-04

[27]

一种抛光垫修整装置及抛光设备 [P].

刘福强 ;

李伟 ;

史霄 ;

杨宽 ;

舒福璋 .

中国专利 :CN113458972A ,2021-10-01

[28]

一种抛光垫修整装置及抛光设备 [P].

刘福强 ;

李伟 ;

杨宽 ;

史霄 .

中国专利 :CN113561054A ,2021-10-29

[29]

化学－机械抛光垫的修整装置及方法 [P].

A·H·刘 .

中国专利 :CN1125704C ,2001-08-29

[30]

抛光盘的离线修整装置及修整方法 [P].

赵世杰 ;

张明壮 ;

廖德锋 ;

谢瑞清 ;

张清华 ;

李海波 ;

李洁 ;

田亮 ;

周炼 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN112405215B ,2021-02-26

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