压力传感器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110093640.1

申请日：

2021-01-22

公开(公告)号：

CN112924058A

公开(公告)日：

2021-06-08

发明(设计)人：

赵怿周志健熊娟余伦宙

申请人：

申请人地址：

200000 上海市青浦区华纺路99号99弄6幢3楼

IPC主分类号：

G01L118

IPC分类号：

G01L906 B81C100

代理机构：

深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374

代理人：

周雷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/18 申请日:20210122
2021-06-08	公开	公开

共 50 条

[1]

压力传感器及其制造方法 [P].

周志健 ;

刘洪喜 ;

熊娟 .

中国专利 :CN112880883A ,2021-06-01

[2]

压力传感器及其制造方法 [P].

周志健 ;

刘洪喜 ;

熊娟 .

中国专利 :CN112880883B ,2025-03-14

[3]

压力传感器及其制造方法 [P].

周志健 ;

余伦宙 ;

熊娟 ;

赵怿 .

中国专利 :CN112880884A ,2021-06-01

[4]

压力传感器及其制造方法 [P].

赵怿 ;

周志健 ;

熊娟 ;

余伦宙 .

中国专利 :CN112924058B ,2025-04-01

[5]

压力传感器及其制造方法 [P].

周志健 ;

余伦宙 ;

熊娟 ;

赵怿 .

中国专利 :CN112880884B ,2025-05-02

[6]

MEMS压力传感器及其制造方法 [P].

谢勇 .

中国专利 :CN105181217A ,2015-12-23

[7]

MEMS压力传感器制造方法及MEMS压力传感器 [P].

朱恩成 ;

陈磊 ;

张强 ;

闫文明 .

中国专利 :CN113432777A ,2021-09-24

[8]

压力传感器芯片及其制造方法和压力传感器 [P].

陈碧亮 .

中国专利 :CN111811696A ,2020-10-23

[9]

压力传感器及其制造方法 [P].

齐藤充浩 ;

大岛裕太 ;

山岸健 .

中国专利 :CN106546373B ,2017-03-29

[10]

压力传感器及其制造方法 [P].

谷田胜纪 ;

村田毅司 ;

藤本尚纪 ;

山田雅央 .

中国专利 :CN105008882B ,2015-10-28

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