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结晶性半导体膜的制造方法以及结晶性半导体膜的制造装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201180002849.7
申请日：
2011-06-27
公开(公告)号：
CN102473606A
公开(公告)日：
2012-05-23
发明(设计)人：
斋藤彻
吉冈洋
堀田定吉
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
H01L2120
IPC分类号：
H01L21336
H01L29786
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
徐健;段承恩
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-05-23 | 公开 | 公开 |
| 2014-12-31 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101709353645 IPC(主分类):H01L 21/20 专利申请号:2011800028497 申请公布日:20120523 |
| 2012-07-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101282315813 IPC(主分类):H01L 21/20 专利申请号:2011800028497 申请日:20110627 |