光开关及其制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN98809538.6
申请日
1998-09-23
公开(公告)号
CN1131449C
公开(公告)日
2000-10-25
发明(设计)人
威廉·H·纳尔逊
申请人
申请人地址
美国特拉华州
IPC主分类号
G02B626
IPC分类号
代理机构
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人
武玉琴;朱登河
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
MEMS光开关及其制造方法 [P]. 
J·G·库亚德 .
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[2]
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[3]
光开关及其制造方法和具有光开关的光路切换装置 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
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[8]
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[9]
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[10]
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