转动竖直镜面微机械光开关及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02145147.8

申请日：

2002-11-08

公开(公告)号：

CN1405590A

公开(公告)日：

2003-03-26

发明(设计)人：

杨艺榕唐衍哲王跃林

申请人：

申请人地址：

200050上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

G02B626

IPC分类号：

G02B635 H04B1012

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

潘振甦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-08-17	授权	授权
2003-03-26	公开	公开
2009-01-07	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2003-05-28	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

柔性悬臂微机械光开关 [P].

梁静秋 ;

李伟 ;

梁中翥 ;

马文生 ;

孙德贵 .

中国专利 :CN101158748A ,2008-04-09

[2]

微机械光开关阵列 [P].

涂相征 ;

李韫言 .

中国专利 :CN1172204C ,2002-09-25

[3]

热驱动微机械光纤开关及其制造方法 [P].

秦明 ;

黄庆安 ;

樊路加 .

中国专利 :CN1356570A ,2002-07-03

[4]

柔性悬臂微机械光开关制作方法 [P].

梁静秋 ;

钟砚超 ;

梁中翥 ;

陈斌 ;

孙德贵 .

中国专利 :CN101158747A ,2008-04-09

[5]

利用（110）硅片制作微机械光开关、光开关阵列及方法 [P].

董玮 ;

陈维友 ;

刘彩霞 ;

张龙 ;

徐宝琨 .

中国专利 :CN1402034A ,2003-03-12

[6]

静电式微机械全光开关制造方法 [P].

徐永青 ;

杨拥军 ;

梁春广 ;

赵彦军 .

中国专利 :CN1391118A ,2003-01-15

[7]

微机械及其制造方法 [P].

山口真弓 ;

泉小波 .

中国专利 :CN101041413B ,2007-09-26

[8]

微机械光开关的闩锁及制作 [P].

梁静秋 ;

董玮 ;

明安杰 ;

陈维友 ;

王立军 .

中国专利 :CN100395577C ,2004-11-03

[9]

直梁屈曲静电式微机械光开关 [P].

田文超 ;

山磊 .

中国专利 :CN103033885B ,2013-04-10

[10]

静电式微机械全光开关 [P].

徐永青 ;

杨拥军 ;

赵彦军 ;

梁春广 .

中国专利 :CN2555511Y ,2003-06-11

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