氧化镓晶体生长装置及晶体生长方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202210042869.7
申请日
2022-01-14
公开(公告)号
CN114059162B
公开(公告)日
2022-02-18
发明(设计)人
张辉 马可可 夏宁 王嘉斌 刘莹莹 杨德仁
申请人
申请人地址
310000 浙江省杭州市萧山区市心北路99号5楼
IPC主分类号
C30B2916
IPC分类号
C30B1500 C30B1530 C30B1520
代理机构
杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260
代理人
姚宇吉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
氧化镓晶体生长装置及生长方法 [P]. 
马可可 ;
夏宁 ;
杨守智 .
中国专利 :CN118957757A ,2024-11-15
[2]
氧化镓晶体生长装置及生长方法 [P]. 
狄聚青 ;
朱刘 ;
刘运连 ;
薛帅 ;
唐俊杰 .
中国专利 :CN112680780A ,2021-04-20
[3]
晶体生长装置及晶体生长方法 [P]. 
狄聚青 ;
朱刘 ;
赵青松 ;
牛晓东 ;
顾小英 ;
胡智向 .
中国专利 :CN112725890A ,2021-04-30
[4]
晶体生长方法及晶体生长装置 [P]. 
郑燕青 ;
齐凡 ;
孔舒燕 ;
陈志平 ;
赵衡煜 .
中国专利 :CN119121382B ,2025-11-14
[5]
晶体生长装置及晶体生长方法 [P]. 
藤川阳平 .
中国专利 :CN112746315A ,2021-05-04
[6]
晶体生长方法及晶体生长装置 [P]. 
郑燕青 ;
齐凡 ;
孔舒燕 ;
陈志平 ;
赵衡煜 .
中国专利 :CN119121382A ,2024-12-13
[7]
晶体生长装置及晶体生长方法 [P]. 
堀冈佑吉 .
中国专利 :CN102187018A ,2011-09-14
[8]
一种氧化镓晶体生长炉及氧化镓晶体生长方法 [P]. 
王琤 ;
杨守智 ;
沈典宇 ;
王芸霞 .
中国专利 :CN117468092A ,2024-01-30
[9]
氧化镓晶体生长方法及生长氧化镓晶体的组合坩埚 [P]. 
张辉 ;
马可可 ;
夏宁 ;
王嘉斌 ;
刘莹莹 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN113774484A ,2021-12-10
[10]
晶体生长装置和晶体生长方法 [P]. 
彭程 ;
张洁 ;
廖弘基 ;
陈华荣 .
中国专利 :CN113652751B ,2021-11-16