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场效应管的制备方法、场效应管及半导体衬底
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910245569.7
申请日：
2019-03-28
公开(公告)号：
CN111755336A
公开(公告)日：
2020-10-09
发明(设计)人：
周飞
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路18号
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
H01L2906
H01L2978
代理机构：
上海德禾翰通律师事务所 31319
代理人：
侯莉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-09 | 公开 | 公开 |
| 2020-10-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20190328 |