一种复合式化学气相沉积碳化硅装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310142519.9
申请日
2013-04-22
公开(公告)号
CN103723731B
公开(公告)日
2014-04-16
发明(设计)人
陈照峰 刘勇
申请人
申请人地址
215400 江苏省苏州市太仓市科教新城健雄路20号
IPC主分类号
C01B3136
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种化学气相沉积碳化硅设备 [P]. 
王琨 ;
司奇峰 ;
王慧 .
中国专利 :CN118639210A ,2024-09-13
[2]
一种化学气相沉积碳化硅的系统 [P]. 
吴松 .
中国专利 :CN223576589U ,2025-11-21
[3]
化学气相沉积的碳化硅制品 [P]. 
M·A·皮克林 ;
J·L·特里巴 ;
K·D·莱斯 .
中国专利 :CN101429048A ,2009-05-13
[4]
一种碳化硅化学气相沉积设备 [P]. 
戴煜 ;
胡祥龙 ;
周岳兵 .
中国专利 :CN204097561U ,2015-01-14
[5]
化学气相沉积制备全沉积碳化硅涂层的装置 [P]. 
杨泰生 ;
刘海林 ;
霍艳丽 ;
陈玉峰 ;
唐婕 ;
胡利明 .
中国专利 :CN108546928B ,2018-09-18
[6]
一种化学气相沉积碳化硅环生产用沉积设备 [P]. 
朱伟 ;
薛同磊 .
中国专利 :CN120967320A ,2025-11-18
[7]
一种化学气相沉积碳化硅的沉积方法及系统 [P]. 
吴松 .
中国专利 :CN120291050A ,2025-07-11
[8]
一种化学气相沉积碳化硅环生产用沉积系统 [P]. 
张桂华 ;
刘畅 .
中国专利 :CN119776806A ,2025-04-08
[9]
一种化学气相沉积碳化硅环生产用沉积系统 [P]. 
张桂华 ;
刘畅 .
中国专利 :CN119776806B ,2025-06-13
[10]
一种碳化硅化学气相沉积系统混气装置 [P]. 
胡动力 ;
王人松 ;
贾新旺 ;
岳增可 .
中国专利 :CN118292103A ,2024-07-05