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工件盘镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021977262.0
申请日：
2020-09-11
公开(公告)号：
CN213507177U
公开(公告)日：
2021-06-22
发明(设计)人：
刘亮
闫海涛
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区永昌南路2号5号楼
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
代理机构：
北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579
代理人：
安娜
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-22 | 授权 | 授权 |