半导体表面粗糙化方法

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专利类型
发明
申请号
CN201110285551.3
申请日
2011-09-23
公开(公告)号
CN102569548A
公开(公告)日
2012-07-11
发明(设计)人
高仲山
申请人
申请人地址
中国台湾新竹市科学园区工业东三路3号
IPC主分类号
H01L3300
IPC分类号
H01L3322
代理机构
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人
臧建明
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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