一种晶圆托盘的夹取装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122663756.2

申请日：

2021-11-02

公开(公告)号：

CN216054645U

公开(公告)日：

2022-03-15

发明(设计)人：

何飞童启

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

北京众达德权知识产权代理有限公司 11570

代理人：

安磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-15	授权	授权

共 50 条

[21]

一种托盘垛夹取装置 [P].

周学峰 ;

高正路 ;

祁静星 ;

贾晨晨 ;

贾兴柱 ;

骈月秀 ;

骈其政 ;

潘国晶 ;

王业兵 ;

王保祥 .

中国专利 :CN223357333U ,2025-09-19

[22]

一种晶圆夹取治具 [P].

徐超 ;

曹云玲 ;

周文斌 ;

盛嫦娥 ;

刘士燕 ;

冯峰 ;

孙剑 ;

高裕弟 .

中国专利 :CN216793658U ,2022-06-21

[23]

一种晶圆夹取转移工装 [P].

李健儿 ;

冯永 ;

张正 ;

胡仲波 ;

鲜贵容 .

中国专利 :CN214981058U ,2021-12-03

[24]

一种圆片夹取装置 [P].

陈跃华 ;

陈时兴 ;

卜志超 ;

吴怡平 .

中国专利 :CN217866899U ,2022-11-22

[25]

一种晶舟夹取装置 [P].

王嘉伟 ;

徐智文 ;

王志伟 .

中国专利 :CN210668317U ,2020-06-02

[26]

一种用于工装托盘的夹取装置 [P].

李增玉 ;

赵志方 .

中国专利 :CN222592746U ,2025-03-11

[27]

一种用于晶圆清洗的晶圆夹装置 [P].

杨洋 .

中国专利 :CN223513942U ,2025-11-04

[28]

一种单片清洗设备晶圆夹取装置 [P].

李佳琪 ;

史霄 ;

王剑 .

中国专利 :CN119626976A ,2025-03-14

[29]

一种非翘曲晶圆夹取装置 [P].

司步超 ;

高志远 ;

张刊 ;

王瑞锋 ;

潘武 .

中国专利 :CN220306242U ,2024-01-05

[30]

一种快速夹取圆电池的装置 [P].

卢丹 .

中国专利 :CN215548763U ,2022-01-18

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